KLA-Tencor 推出 8900 檢測系統

專為半導體和相關行業提供工藝控制及成品率管理解決方案的全球領先供貨商 KLA-Tencor 公司（納斯達克股票代碼：KLAC) 宣布推出了 8900 缺陷檢測系統，正式將系列產品之觸角延伸至 CMOS 影像感應器 (CIS) 市場。KLA-Tencor 公司的全新產品 8900 提供可選光波長、與 CIS 像素匹配的色彩，以及同步明場和暗視野的光通道，能捕捉各種缺陷類型；并有可調靈敏度及產能設定功能，為從初始產品開發到濾色鏡陣列 (CFA) 大規模生產提供具有成本效益的缺陷管理。
影像感應器是可將光線轉換成電子訊號的裝置，主要用于相機。濾色鏡可讓感應器的每個像素對特定色彩 (一般而言是指紅色、綠色或藍色 (RGB)) 做出反應。CFA 是由單色圖形層建構而成，其中每個感應器像素上都有一個濾鏡。每個像素上都有一個微透鏡。組裝流程的任何步驟都可能產生良率限制缺陷，8900 可檢測任一濾鏡或微透鏡層，有助于減少材料浪費且縮短生產周期。
8900 缺陷檢測系統已于近期安裝在濾色鏡行業領頭羊 - Toppan Printing Company, Ltd. - 的第一個 300mm 先進 Color Filter 廠內�！跋冗M的缺陷控制是決定我們能否以可靠方式提供先進的濾色鏡的重要因素，8900 已大幅改良了缺陷控制功能并變更了我們的策略。”Toppan Electronics Products Co., Ltd. 熊本廠OCF 部門總經理 Keiichi Hara 說道，“因為 8900 對于各種缺陷類型都相當靈敏，并可大幅提高產能，所以可以用其執行 CFA 工藝涉及的所有缺陷檢測。此前，完成此操作需采用多種檢測工具。8900 也可以自動執行缺陷監控工作(之前需要手動檢測)，有助于縮短生產周期和預測上市時間。”
“影像感應器晶片廠已經綜合使用各種缺陷檢測系統 (包含手動檢測)，以覆蓋 CFA 流程開發、生產線監控和進廠及出廠之質量控制�！盞LA-Tencor SWIFT 部門副總裁暨總經理 Oreste Donzella 說，“實施這種策略會導致錯誤和低效率。例如，手動檢測結果的可變性很大。即使使用自動化系統，也可能會遺漏掉關鍵的缺陷偏移問題，因為比較不同系統的結果非常困難。在開發 8900 時，我們利用了 KLA-Tencor 在明場和暗視野微觀及宏觀檢測的豐富經驗，進而為影像感應器晶片廠提供單一且有彈性的系統，盡力滿足他們在 CFA 檢測方面的需求。我們相信 8900 可幫助晶片廠改良資源配置、提升目前產品之良率并縮短其較新影像感應器的上市時間�！�
8900 缺陷檢測系統的主要功能有：
• 同步明場及暗視野光學路徑，可捕捉單一通道中的各種缺陷類型，例如微透鏡變形、阻抗及落面缺陷、色彩沾污、大污點及條痕；
• 可選 LED 檢測，CIS 濾境色彩匹配光譜檢查 ；
• 符合先進 CIS 路徑圖要求的靈敏度；
• 在保持生產靈敏度下每小時 300mm 半導體晶圓產能達 110 晶圓以上；
• 依類型自動裝倉缺陷；
• 自動感應器決定錯置通過/不過關；
• 自動檢查色彩以驗證缺陷。
如想取得 8900 的更多技術詳細數據，請參看產品網頁：http://www.kla-tencor.com/patternedwafer/8900.html。
關于 KLA-Tencor：
KLA-Tencor Corporation（納斯達克股票代碼：KLAC）是工藝控制與良率管理解決方案的領先提供商，它與全球客戶合作，開發先進的檢測與度量技術。這些技術為半導體、數據儲存、化合物半導體、光電及其它相關奈米電子產業提供服務。公司擁有廣泛的業界標準產品組合及世界一流的工程師與科學家團隊，三十余年來為客戶努力打造優秀的解決方案。KLATencor的總部設在美國加利福尼亞州 Milpitas，并在全球各地設有專屬的客戶運營與服務中心。如需更多信息，請參觀網站 www.kla-tencor.com。(KLAC-P)

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