專為半導(dǎo)體和相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供工藝控制及良率管理解決方案的全球領(lǐng)先供應(yīng)商 KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）為 28XX 寬頻明場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)發(fā)布了一款新的升級(jí)包—— XP。XP 升級(jí)包是市面上第一款可為檢測(cè)系統(tǒng)提供標(biāo)準(zhǔn)集成電路設(shè)計(jì)布局文件（讓光罩車間能夠形成光罩圖案的指令）的產(chǎn)品。得到此信息后，檢測(cè)系統(tǒng)就能掌握電路內(nèi)的缺陷位置，以更好地估算其影響產(chǎn)品良率的概率。此外，XP 能夠利用與設(shè)計(jì)結(jié)合的晶片檢測(cè)結(jié)果識(shí)別在光刻時(shí)可能對(duì)工藝變化特別敏感的光罩上的特征。XP 升級(jí)包的這些及其它功能的設(shè)計(jì)旨在提升現(xiàn)有 28XX 檢測(cè)機(jī)臺(tái)的靈敏度與產(chǎn)能，并增加缺陷結(jié)果的信息內(nèi)容以有助于加快查找和解決缺陷問題。

KLA-Tencor 的晶片檢測(cè)事業(yè)群 (Wafer Inspection Group) 副總裁兼總經(jīng)理 Mike Kirk 博士表示：“在以消費(fèi)者為導(dǎo)向的市場(chǎng)中，芯片復(fù)雜度與價(jià)格壓力不斷增加，我們的客戶正在尋求便于進(jìn)行缺陷根源分析的工具，以提高產(chǎn)能并實(shí)現(xiàn)更快和更有效的達(dá)到穩(wěn)定生產(chǎn)。如今，業(yè)界領(lǐng)先的晶片廠必須運(yùn)用讓 193nm 光刻能夠印制幾近十分之一光照波長(zhǎng)線寬的特征的先進(jìn)光刻技術(shù)，目前這種線寬已經(jīng)可以用可數(shù)的原子來度量。在此環(huán)境下，即使是一片晶片上的較小缺陷或一個(gè)光罩上的處于臨界點(diǎn)的圖案也會(huì)產(chǎn)生巨大的良率影響。我們新的 XP 升級(jí)包能滿足我們客戶對(duì)優(yōu)化缺陷捕捉，以及從無關(guān)或雜訊缺陷的海洋中識(shí)別系統(tǒng)性缺陷和其它與良率相關(guān)的缺陷的需求，這代表了一個(gè)巨大的進(jìn)步。此外，XP 能夠以具有成本效益的方式提供這種有價(jià)值的能力：作為大多數(shù)領(lǐng)先晶片廠中已有檢測(cè)系統(tǒng)的一個(gè)升級(jí)。”    

新的 XP 升級(jí)包內(nèi)含專為改善檢測(cè)結(jié)果或檢測(cè)機(jī)臺(tái)產(chǎn)能而設(shè)計(jì)的若干功能，其中包括：

·         基于缺陷位置的電路圖案的密度，在檢測(cè)期間對(duì)良率相關(guān)缺陷的優(yōu)先捕捉；

·         利用電路設(shè)計(jì)信息并根據(jù)特定圖案組設(shè)置高度局部化的缺陷檢測(cè)閾值，對(duì)芯片內(nèi)所有關(guān)鍵區(qū)域的缺陷捕捉進(jìn)行優(yōu)化。

·         通過密切監(jiān)測(cè)具有較小工藝靈活度的圖案類型，實(shí)現(xiàn)對(duì)臨界點(diǎn)光刻狀況的早期偵測(cè)；以及

·         新工藝層或新裝置的衍生“配方”（對(duì)檢測(cè)具有決定性影響的光學(xué)、機(jī)械和算法參數(shù)設(shè)置）的線下生成。作為若干配方快速化的功能之一，此功能可大幅減少配方設(shè)置所需的時(shí)間和勞力，藉此提高檢測(cè)機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能，并讓即使是對(duì)小批量或快速試制的芯片的配方優(yōu)化也切實(shí)可行。

XP 升級(jí)包是針對(duì)已被廣泛采用的 281x 和 282x 明場(chǎng)檢測(cè)系統(tǒng)的一項(xiàng)升級(jí)，已出貨至多家晶片代工廠、內(nèi)存芯片與邏輯芯片生產(chǎn)廠家，且在 20 多篇技術(shù)論文中都有專門論述。

關(guān)于 KLA-Tencor： 

KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）是工藝控制與良率管理解決方案的領(lǐng)先提供商，它與全球客戶合作，開發(fā)先進(jìn)的檢測(cè)與度量技術(shù)。這些技術(shù)為半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、化合物半導(dǎo)體、光伏及其它相關(guān)納米電子行業(yè)提供服務(wù)。公司擁有廣泛的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品系列及世界一流的工程師與科學(xué)家團(tuán)隊(duì)，三十余年來為客戶努力打造優(yōu)秀的解決方案。KLA-Tencor 的總部設(shè)在美國(guó)加利福尼亞州米爾皮塔斯 (Milpitas)，并在全球各地設(shè)有專屬的客戶運(yùn)營(yíng)與服務(wù)中心。如需更多信息，請(qǐng)?jiān)L問網(wǎng)站 www.kla-tencor.com。(KLAC-P)