FSI收到重要半導體制造商ORION® 單晶圓清洗技術后續訂單
FSI國際有限公司(納斯達克:FSII),日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續訂單,購買其新推出的ORION® 單晶圓清洗技術平臺。該項后續訂單將為2008年12月23日發布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現所帶來的鼓舞。ORION系統將被應用于后段(BEOL)銅/低K導線制作。
“這項訂單對我們尤其重要,因為它證明了FSI的ORION技術在制造中的應用。”FSI總裁兼首席執行官Don Mitchell說道。“對于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術,該客戶已經初步進行評估。他們在 ORION系統性能充分的杰出表現激勵下,決定擴大應用至當前大量生產線上。該項訂單使我們更加相信,即使在當前行業不景氣的情況下,我們的客戶依舊樂于為新技術投資,因為這些技術提供了優越的性能和顯著的經濟效益。”
ORION系統特有的閉室設計,同時解決了前段(FEOL)和后段(BEOL)先進制造工藝中關鍵步驟上的清洗問題。www.fsi-intl.com相關閱讀:
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