FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION® 單晶圓清洗技術平臺。該項后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應用于后段(BEOL)銅/低K導線制作。

“這項訂單對我們尤其重要，因為它證明了FSI的ORION技術在制造中的應用�！盕SI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道�！皩τ谖覀兯�推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術，該客戶已經初步進行評估。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現激勵下，決定擴大應用至當前大量生產線上。該項訂單使我們更加相信，即使在當前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術投資，因為這些技術提供了優(yōu)越的性能和顯著的經濟效益�！�

ORION系統(tǒng)特有的閉室設計，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進制造工藝中關鍵步驟上的清洗問題。www.fsi-intl.com