FSI國際有限公司（納斯達(dá)克：FSII），日前宣布收到來自重要半導(dǎo)體制造商的后續(xù)訂單，購買其新推出的ORION® 單晶圓清洗技術(shù)平臺。該項后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現(xiàn)所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應(yīng)用于后段(BEOL)銅/低K導(dǎo)線制作。

“這項訂單對我們尤其重要，因為它證明了FSI的ORION技術(shù)在制造中的應(yīng)用�！盕SI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道�！皩τ谖覀兯�推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術(shù)，該客戶已經(jīng)初步進(jìn)行評估。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵下，決定擴大應(yīng)用至當(dāng)前大量生產(chǎn)線上。該項訂單使我們更加相信，即使在當(dāng)前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術(shù)投資，因為這些技術(shù)提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟效益。”

ORION系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進(jìn)制造工藝中關(guān)鍵步驟上的清洗問題。www.fsi-intl.com