FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布再次收到POLARIS^®顯微光刻系統(tǒng)訂單，該訂單來自一家領(lǐng)先的砷化鎵(GaAs)器件代工廠。這一訂單代表了GaAs客戶數(shù)量不斷增長的趨勢，他們選用POLARIS，緣于該系統(tǒng)的卓越性能加上公司在敏感砷化鎵底材處理方面的15年經(jīng)驗。

“隨著寬帶無線和有線通信市場器件制造商數(shù)量的快速增長，我們感受到他們對POLARIS系統(tǒng)興趣的不斷提升，”FSI董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道。“POLARIS產(chǎn)品的靈活性允許我們的客戶在同一系統(tǒng)上處理多種尺寸的GaAs和氮化鎵（GaN）底材，而無需更換硬件或軟件。這種可同步處理多種晶圓尺寸的能力在不影響工藝性能的同時，將靈活性提高到更高水平。”

預計寬帶無線和有線通信器件供應(yīng)商的訂單將有所增長，F(xiàn)SI將重點放在進一步擴展這一重要市場。

FSI POLARIS顯微光刻系統(tǒng)可為尺寸在100mm 和300mm之間的晶圓提供附著劑和光阻涂布、烘干、冷卻和工藝開發(fā)。POLARIS 系統(tǒng)以其龐大的安裝量，為包括薄膜磁頭、生醫(yī)設(shè)備以及GaAs在內(nèi)的多種應(yīng)用和行業(yè)提供服務(wù)。。