FSI國際再次收到一家砷化鎵代工廠對POLARIS® 光刻系統的訂單
FSI國際有限公司(納斯達克:FSII),日前宣布再次收到POLARIS®顯微光刻系統訂單,該訂單來自一家領先的砷化鎵(GaAs)器件代工廠。這一訂單代表了GaAs客戶數量不斷增長的趨勢,他們選用POLARIS,緣于該系統的卓越性能加上公司在敏感砷化鎵底材處理方面的15年經驗。
“隨著寬帶無線和有線通信市場器件制造商數量的快速增長,我們感受到他們對POLARIS系統興趣的不斷提升,”FSI董事長兼首席執行官Don Mitchell說道。“POLARIS產品的靈活性允許我們的客戶在同一系統上處理多種尺寸的GaAs和氮化鎵(GaN)底材,而無需更換硬件或軟件。這種可同步處理多種晶圓尺寸的能力在不影響工藝性能的同時,將靈活性提高到更高水平。”
預計寬帶無線和有線通信器件供應商的訂單將有所增長,FSI將重點放在進一步擴展這一重要市場。
FSI POLARIS顯微光刻系統可為尺寸在100mm 和300mm之間的晶圓提供附著劑和光阻涂布、烘干、冷卻和工藝開發。POLARIS 系統以其龐大的安裝量,為包括薄膜磁頭、生醫設備以及GaAs在內的多種應用和行業提供服務。。
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