FSI國際ORION® 單晶圓清洗系統獲得重要半導體制造商訂單
FSI國際有限公司(納斯達克:FSII),日前宣布一家重要半導體制造商訂購了該公司的新ORION® 單晶圓清洗平臺。這項訂單表明了該客戶對今年5月FSI發運的、用于后段(BEOL)32nm開發項目的評估機臺的認可。該系統特有的閉室設計可解決多個關鍵步驟清洗問題,其中包括控制銅導線中的材料損失和電偶腐蝕(帶有和不帶金屬包覆層),這確保了IC制造商去實現無缺陷下一代銅導線架構。
“該項訂單對于我們的重要性表現在許多層面,”FSI董事長兼首席執行官Don Mitchell說道。“它肯定了ORION對于 32nm應用的關鍵性能,同時表明了該客戶的信念:即使在行業經濟狀況極為不佳的情況下,這些先進性能仍增加了足夠的價值;制造商們正樂于為創新技術投資,不僅是著眼未來,同時也為實現當前的收益。”
ORION系統的三維集群構造可提供高產量、高靈活以及較有效的空間使用。在該系統中整合了許多FSI已成熟的核心技術:線上化學品混合與控制、化學藥液動能氣霧和水輸送、彈性地配方程式控制可提供卓越的工藝性能。其模塊化設計可實現多閉室機型,并可通過添加模塊來提高較大產能。
ORION特有的閉室設計同樣解決了前段(FEOL)工藝中發生的關鍵步驟問題,它允許使用揮發性的高活性化學材料,在32nm器件制造中單步驟、全濕法去除高劑量注入的光刻膠。通過省去灰化工藝,不僅減少了材料損失,同時還降低了工藝周期、工藝復雜性、機臺數量以及工藝步驟。
www.fsi-intl.com
相關閱讀:
- ...2009/03/26 15:44·FSI國際宣布將ViPR™全濕法去除技術擴展到NAND存儲器制造
- ...2009/01/15 09:42·FSI收到重要半導體制造商ORION® 單晶圓清洗技術后續訂單
- ...2008/11/27 09:08·FSI國際再次收到一家砷化鎵代工廠對POLARIS® 光刻系統的訂單
- ...2008/11/10 18:31·FSI國際在上海推出ORION® 單晶圓清洗系統
- ...2008/11/06 10:30·FSI國際推出ORION® 單晶圓清洗系統
- ...2008/11/05 10:40·FSI國際推出ORION單晶圓清洗系統 可擴展至450mm晶圓生產
- ...· Efinix® 全力驅動AI邊緣計算,成功推出Trion™ T20 FPGA樣品, 同時將產品擴展到二十萬邏輯單元的T200 FPGA
- ...· 英飛凌亮相進博會,引領智慧新生活
- ...· 三電產品開發及測試研討會北汽新能源專場成功舉行
- ...· Manz亞智科技跨入半導體領域 為面板級扇出型封裝提供化學濕制程、涂布及激光應用等生產設備解決方案
- ...· 中電瑞華BITRODE動力電池測試系統順利交付北汽新能源
- ...· 中電瑞華FTF系列電池測試系統中標北京新能源汽車股份有限公司
- ...· 中電瑞華大功率高壓能源反饋式負載系統成功交付中電熊貓
- ...· 中電瑞華國際在電動汽車及關鍵部件測評研討會上演繹先進測評技術
產品快訊更多
企業新聞更多