據上海市政府網站報道，將近兩米高的長方形箱體內，幾片硅片可以在里面接受“清洗”。11月4日，這款由上海企業自主研發的硅片“消毒車間”亮相工博會。

要制造一個硅片成品過程非常復雜，從刻蝕到清洗大約需要經過三百多道工藝。中國的半導體產業大多集中于硅片制造環節，而像硅片清洗設備制造這樣的高附加值領域，國內仍存在空白。由盛美半導體設備（上海）有限公司研發的這套設備，是國內首個具有自主知識產權的12英寸單片晶圓清洗設備。