我國自主研發的硅片“消毒車間”亮相工博會
關鍵字:半導體
據上海市政府網站報道,將近兩米高的長方形箱體內,幾片硅片可以在里面接受“清洗”。11月4日,這款由上海企業自主研發的硅片“消毒車間”亮相工博會。
要制造一個硅片成品過程非常復雜,從刻蝕到清洗大約需要經過三百多道工藝。中國的半導體產業大多集中于硅片制造環節,而像硅片清洗設備制造這樣的高附加值領域,國內仍存在空白。由盛美半導體設備(上海)有限公司研發的這套設備,是國內首個具有自主知識產權的12英寸單片晶圓清洗設備。
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