Tegal Corporation日前宣布收到一筆關(guān)于4200SE先進(jìn)多腔體ICP等離子體刻蝕設(shè)備訂單，用于功率器件及MEMS傳感器制造過(guò)程中的深反應(yīng)離子刻蝕（Deep Reactive Ion Etching ）應(yīng)用。

Tegal總裁兼CEO Thomas Mika表示，Tegal非常高興收到此筆訂單。客戶(hù)之所以選擇了Tegal，是因?yàn)槎嗄陙?lái)Tegal在功率器件及MEMS傳感器制造方面享有盛譽(yù)，Tegal目前戰(zhàn)略是專(zhuān)注于DRIE設(shè)備市場(chǎng)。當(dāng)客戶(hù)在選擇DRIE設(shè)備時(shí)，不僅要考慮到DRIE技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力，還要考量其設(shè)備供應(yīng)商在客戶(hù)支持方面的聲譽(yù)。Tegal的理念是要把單腔與集群式DRIE設(shè)備做到業(yè)界較好。