FPD International 2008:第10代玻璃底板制造設(shè)備及部材爭相亮相
“FPD International 2008”上,支持第10代玻璃底板的液晶制造裝置及部件及部材的展示紛紛亮相。繼AKT發(fā)布支持第10代底板的等離子CVD裝置和EB(電子束)測試儀之后,各公司又在FPD International展示會(huì)上接連展出了許多支持第10代底板的裝置。
表示支持第10代底板的裝置廠商包括,東電電子、大日本網(wǎng)屏、東麗工程,東京應(yīng)化工業(yè)、日立高科及Nakan等。另外,曝光裝置用光掩模方面,Clean Surface Technology、Ohara Quartz及日礦金屬等也宣布支持第10代底板。
在展示中明確說明支持第10代底板的裝置包括,東電電子的涂布顯像裝置和干式蝕刻裝置,大日本屏幕的濕式蝕刻處理裝置和涂布、顯像裝置,東麗工程的狹縫式噴嘴涂布機(jī)(Slit-nozzle Coater)、字幕機(jī)及全面膜厚測定裝置,東京應(yīng)化工業(yè)的浮式涂布機(jī)(Floating Coating),日立高科的濕式處理裝置、彩色濾光器用曝光裝置和玻璃底板檢查裝置,以及Nakan的配向膜印刷裝置。
曝光裝置用相關(guān)材料包括,Ohara Quartz的光掩模用石英材料、Clean Surface Technology的光刻掩模板以及日礦金屬的濺射靶材等。目前,已決定導(dǎo)入第10代生產(chǎn)線的液晶面板廠商只有1家。因此,表示支持第10代底板的裝置廠商的解說員介紹時(shí)仍以玻璃底板尺寸為中心,避免涉及裝置性能相關(guān)的具體內(nèi)容。
除上述裝置廠商以外,未明確表示支持第10代生產(chǎn)線但表示“將支持新一代大型底板”的是芝浦機(jī)電和愛發(fā)科。
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