世偉洛克CR-288濃度監測器獲2008較佳產品獎
世偉洛克CR-288濃度監測器被半導體國際雜志授予2008年較佳產品稱號。CR-288濃度監測器是獲該刊第19屆年度“編輯選擇較佳產品獎”的20個產品之一。該獎項用于表彰杰出的半導體制造及相關工業用產品。獲獎產品是由半導體國際雜志編輯委員會評選產生的。
半導體國際雜志總編Laura Peters說:“我們的較佳產品獎與其它方面的不同。我們表彰的是已經得到用戶認可的、經過實際驗證的產品和材料,這些產品和材料的優異性能和/或能力是競爭產品或材料所不能達到的。我們很高興表彰了很多個人和公司,是他們的努力工作為市場帶來了創新產品。”
CR-288濃度監測器滿足了半導體制造業的一項關鍵需求,即設備制造過程中所用液體化學品的更好監測與控制。這種產品可以安裝在工藝流內或化學品被傳輸或混合的使用點處,能夠提供實時的、高準確度的工藝流體濃度與溫度。
利用專有的軟件,技術人員可以針對半導體實驗室或蝕刻、晶圓清洗、光刻膠沉積與清除、化學機械研磨(CMP)等制造工藝使用的化學品混合物對設備進行校準。這種監測器使用一個數字顯示單元監測多達四個不同流體流,能夠幫助半導體制造工業降低化學品消耗、改善工藝控制、提高工藝可見度、檢查工藝問題、減少晶圓報廢率、提高生產率。
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