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AKT發布第10代等離子CVD和EB測試儀

2008年10月31日11:23:54 SEMI 我要評論(2)字號:T | T | T
關鍵字:應用 

據日經BP社報道,在“FPD International 2008”舉行前日(2008年10月28日)的新產品說明會上,AKT發布了支持第10代玻璃底板的等離子CVD和EB(電子束)測試儀的概要。兩裝置均支持2850mm×3050mm級的玻璃底板,是支持第8.5代的原機型的擴大版,工藝性能也和原機型相同。

在新產品說明會伊始,AKT顯示器及薄膜太陽能產品事業群高級副總裁兼總經理Gilad Almogy介紹了生產顯示器和太陽能電池的美國應用材料公司(AMAT)的業務。隨后,AKT顯示器業務群副總裁兼總經理ID Kang介紹了支持第10代的等離子CVD裝置“AKT-90K PECVD”和EB測試儀“AKT-90K EBT”。

等離子CVD裝置AKT-90K PECVD由較多5臺的制程艙(process chamber)、負荷固定艙(load lock chamber)、以及位于他們中心的傳輸艙(Transfer Chamber)構成。設置面積約為14m×14m。

與支持第8.5代的原機型相比,支持的底板面積增大1.6倍,裝置的長和寬分別增大1.3倍。此外,高度是原機型的1.2倍,為4.2m。裝置的重量是第8.5代支持機型的2倍,重達228噸。

對大型化裝置而言運輸是較大的問題,為解決這一問題,采取了客戶端組裝方式(MAC Marge at Customer Site),成立了從較佳場所供應組裝部件的全球性供應鏈管理體制。尤其增加了從臺灣等亞洲地區的部件采購比例,2008年來自亞洲地區的CVD腔供應增加了2.4倍以上。

作為CVD裝置心臟部分的制程艙支持原機型的規模擴大(scale up),不過為了得到和原機型同等的成膜速度、膜質和均一性,保證電極的機械平行度和底板溫度的均一性是非常重要的。

EB測試儀AKT-90K EBT也和等離子CVD一樣,是原機型的擴大機型。裝置的設置面積約為5.7m×13m,重量是原機型的1.7倍,為60噸。為確保大尺寸底板的檢測時間,配備了9個直線狀的EB鏡筒

AKT計劃在“FPD International 2008”上展示這兩款新裝置。

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