ASM 啟用功新的 PowerFill 外延技術的電源設備

ASM International內華達州（納斯達克代碼: ASMI歐洲阿姆斯特丹證券交易所代碼：ASM），今天推出了其PowerFill(TM)的外延硅（Epi Si）溝槽填充工藝。新工藝可使帶有摻雜物的外延硅深溝無縫隙填充。 PowerFill是一個精湛的工藝技術，因為它是同類流程速度的3倍，降低制造成本，創造了為電源設備設計在設計程度上新的級別。

Fairchild半導體公司是第一家客戶，以處理其先進電源管理器件，已完成其在韓國工廠的核實。對于這種應用，ASM的PowerFill的處理可以實現電源管理器件和電路的占用空間，從而減少損耗和生產成本。

“對于離散式功率的要求MOSFETs是要降低電阻導通，降低柵極電荷和提高電流能力” Fairchild的技術處理主管C.B. Son表示。 “具備PowerFill的Epsilon工具的性能一直令人印象深刻的，其一個重要的有利因素就是我們可以成功地融入這一先進的溝槽外延處理，能我們認識到，因成本節省而帶來的加工吞吐量的顯著改善。”

與其它需要通過外延反應堆進行多重傳遞來實現類似設備結構的處理相比而言，創新后的ASM Epsilon溝槽填補技術的開發能夠在無縫隙外延處理一步完成。單一步驟的處理能夠使硅外延處理的吞吐量增加三倍，同時保持無縫隙填充的特性，均勻性好，產量高。ASM外延技術總監Shawn Thomas說到：“這種高速溝槽填充技術的開發將是展示ASM與客戶合作，使先進的材料和批量生產外延技術的一個例證”。

關于 ASM International

ASM International, 內華達州 (N.V.) 以及其子公司的設計及制造設備用于生產半導體設備的裝置和材料。該公司提供面向美國，歐洲，日本和亞洲的晶片加工(前端部分）的生產方案以及組裝和包裝（后端部分)的設施。 ASM International的普通股在納斯達克交易所（NASDAQ) (代碼ASMI)和Euronext阿姆斯特丹證券交易所（代碼ASM）。欲了解更多信息，請訪問ASMI的網站上 www.asm.com

相關閱讀:

• ...2018/08/29 16:42·Entegris EUV 1010光罩盒展現極低的缺陷率，已獲ASML認證
• ...2015/12/22 19:48·RASMID產品陣容新增TVS二極管“VS3V3BxxFS系列”
• ...2014/08/06 09:00·EOS和plasmo 聯手推出面向增材制造的在線流程監控
• ...2013/12/12 11:03·Edwards真空泵為韓國鍍膜原始設備制造商UNI Plasma創造長期效益
• ...2009/07/17 14:54·ASML展示一體化光刻解決方案 助摩爾定律延續
• ...2008/12/11 12:43·Avago新推出Moonstone系列的0.5W白光LED ASMT-Mx60