在2008歐洲半導體設備與材料產業展覽會上，杜邦高性能彈性體公司（DPE）重點推出專為半導體熱處理過程開發的較新Kalrez® 8900全氟彈性體部件。Kalrez® 8900部件實現了在更高溫度半導體制造過程中更長的密封壽命，減少了昂貴的設備停工時間，降低了設備擁有成本。

DPE還公布了Kalrez® 9100部件較近在沉積、蝕刻、灰化/剝離等制程上的成功商業化，并推出了可提高光伏生產密封可靠性的Kalrez®產品。

新型Kalrez® 8900部件

在半導體熱處理工藝:如氧化、擴散爐、CVD、ALD 和LPCVD等的靜態和動態的密封應用中，Kalrez® 8900部件使設備運轉時間更長，表現優于傳統工業設備維護標準。其綜合性能可有效地延長設備密封壽命、提高產品質量和產能。

Kalrez® 8900部件即使在較高325攝氏度的環境下持續運作也表現出優異的熱穩定性，極少漏氣，抗溫度循環影響表現也很出色，因而該產品已在各種嚴苛的半導體加工應用中成功通過測試，這些測試通常都在300攝氏度以上的高溫環境下進行。推薦的應用領域包括石英管密封、高壓密封、密封筒和中央環密封。

此次為嚴苛熱環境推出的Kalrez® 8900部件使杜邦高性能彈性體的全氟彈性體產品系列更為完善，該系列產品包括Kalrez® 9100、Kalrez® Saharaä 8085、Kalrez® 8002和Kalrez® 6375UP等，已在晶片加工中有出色表現的產品。

Kalrez® 9100

DPE Kalrez® 9100全氟彈性體部件是較新的半透明琥珀色產品，專門針對在HDPCVD、PECVD、蝕刻、灰化/剝離制程以及非晶/微晶硅電池沉積工藝中的低腐蝕和超低顆粒要求而開發。Kalrez® 9100部件在以上環境中表現出超長的壽命，減少昂貴的設備停工損耗并降低設備維護成本。

位于美國得克薩斯州奧斯汀的全球領先的閃存供應商Spansion公司，較近通過在使用腐蝕性的SiH4, O2,He加工環境和NF3及O2等離子體的兩步清洗化學品的Fab 25工廠中改用Kalrez® 9100產品，成功的改善了原先的設備檢修周期，使產量提高超過20%，設備維修成本也顯著降低。

類似的關于Kalrez® 9100部件的應用案例還包括：

·         IMEC，硅加工及設備技術部

·         奇夢達，Kalrez® 9100現在已被選擇為其11個不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考慮在其他四個部位的應用。

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