美國Siargo推出了試用于機床的MEMS流量傳感器“FPX4008S”系列。主要用于測量油氣混合物（壓縮空氣和油液的混合物）流速，并對機床機械部分軸承部位的油氣混合物供應優化控制。此次通過配備壓縮空氣檢測和油液檢測二用的MEMS傳感器，可在更接近軸承的位置進行檢測。

　　Siargo的流量傳感器芯片的工作原理是：當經微型加熱器加熱的流體流經傳感器時，根據因流速和質量不同而產生的溫度變化來測定流量。在2mm×4mm的硅底板上利用MEMS技術制造而成。MEMS流量傳感器芯片委托德國microFAB Bremen. GmbH制造。