IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院深入合作推動(dòng)MEMS工藝技術(shù)持續(xù)發(fā)展

美國(guó)加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國(guó)北京，2016年12月8日—美國(guó)較大的MEMS技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三位學(xué)生頒發(fā)了2016年度MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，以獎(jiǎng)勵(lì)他們在MEMS工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)領(lǐng)域的杰出成就。這次頒獎(jiǎng)也標(biāo)志著IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院開(kāi)展戰(zhàn)略合作已滿一周年。該獎(jiǎng)學(xué)金已為MEMS器件制造工藝技術(shù)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的基礎(chǔ)研究提供了支持，接下來(lái)將繼續(xù)推動(dòng)MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，并將在全球范圍內(nèi)為人才培養(yǎng)提供幫助。

在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院將獎(jiǎng)學(xué)金授予了三位學(xué)生。2016年度獎(jiǎng)學(xué)金的獲得者是程曉亮、毛逸飛和張立。這三位IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為使用碳氟等離子體的無(wú)掩膜皺紋結(jié)構(gòu)的可控制造，聚焦離子束應(yīng)力引入技術(shù)，以及SOG（Silicon On Glass）工藝質(zhì)量監(jiān)控和工藝相關(guān)參數(shù)提取。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿�和前景�?/span>

MEMS已經(jīng)成為了一項(xiàng)關(guān)鍵的技術(shù)，被用來(lái)應(yīng)對(duì)物聯(lián)網(wǎng)、智能化和生物技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)快速發(fā)展的技術(shù)和應(yīng)用。MEMS技術(shù)持續(xù)演進(jìn)，推動(dòng)了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創(chuàng)新，以滿足未來(lái)的需求。在當(dāng)今的電子系統(tǒng)中，MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中，例如無(wú)人駕駛設(shè)備、智能電話、可穿戴電子產(chǎn)品、細(xì)胞計(jì)數(shù)器和機(jī)器人等等應(yīng)用，新型的MEMS器件正在被快速地開(kāi)發(fā)并推出。MEMS技術(shù)的拓展及其發(fā)展前景不但激勵(lì)著IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的制造與研究機(jī)構(gòu)去自發(fā)地推動(dòng)MEMS技術(shù)的先進(jìn)研究和開(kāi)發(fā)，同時(shí)也促動(dòng)他們與行業(yè)中志同道合的伙伴積極開(kāi)展合作。

2015年，IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院簽署戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議，旨在通過(guò)攜手合作加快MEMS技術(shù)在中國(guó)和美國(guó)的發(fā)展。作為該協(xié)議的一部分，IMT在MEMS研究和開(kāi)發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個(gè)）學(xué)生個(gè)人或團(tuán)隊(duì)提供獎(jiǎng)學(xué)金。該獎(jiǎng)學(xué)金鼓勵(lì)創(chuàng)新，并有助于在通信、人類健康、農(nóng)業(yè)優(yōu)化和可再生能源等眾多領(lǐng)域中展現(xiàn)出MEMS制造的優(yōu)勢(shì)。該獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃是首項(xiàng)在中國(guó)專門針對(duì)MEMS制造工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金。

“很高興能夠代表IMT再一次為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)我們的年度專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，今年同學(xué)們提交的所有論文都以極高的質(zhì)量和創(chuàng)新給我們留下了深刻的印象，也反映了該院在MEMS技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)又取得了許多技術(shù)進(jìn)步和突破，”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示。“自2015年IMT與北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院形成戰(zhàn)略關(guān)系以來(lái)，雙方在開(kāi)發(fā)新的MEMS制造工藝及技術(shù)方面展開(kāi)了合作并已經(jīng)從中獲益。這將為IMT利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)服務(wù)中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)帶來(lái)新的機(jī)會(huì)。兩個(gè)組織擁有一個(gè)共同的目標(biāo)，即通過(guò)基于MEMS的技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng)及其他新興技術(shù)的快速發(fā)展。”

“在過(guò)去的兩年中，IMT-北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃已經(jīng)獎(jiǎng)勵(lì)了5位學(xué)生和1個(gè)學(xué)生團(tuán)隊(duì)。同學(xué)們的研究為MEMS工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)和制造帶來(lái)了真實(shí)的貢獻(xiàn)。該獎(jiǎng)學(xué)金為其他青年才俊開(kāi)啟了一扇大門，有助于擴(kuò)展他們的視野，并使他們致力于創(chuàng)新以邁向新一代MEMS技術(shù)。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院李志宏教授表示，“我們與IMT之間的合作伙伴關(guān)系，以及其他類似的行業(yè)合作，對(duì)于持續(xù)創(chuàng)新而言都是至關(guān)重要的。”

關(guān)于IMT（Innovative Micro Technology）

IMT是全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和晶圓制造服務(wù)商，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年，專門生產(chǎn)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產(chǎn)廠，其中有一間30,000平方英尺、等級(jí)為100的無(wú)塵室/晶圓廠，是世界上較大、配置較精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產(chǎn)，以及從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)過(guò)程的制造服務(wù)。IMT服務(wù)的企業(yè)分布在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域，包括繼電器、醫(yī)療診斷、給藥、生物醫(yī)學(xué)、微流體、顯示屏、慣性導(dǎo)航、光學(xué)通信、印刷、夜視儀、紅外發(fā)射器、電話/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類傳感器及相關(guān)領(lǐng)域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發(fā)和制造基于MEMS技術(shù)的新型產(chǎn)品。更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.imtmems.com。

關(guān)于北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院

北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院（IME/Peking University）是中國(guó)頂級(jí)的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點(diǎn)是擁有一套完整的教學(xué)、培訓(xùn)和研究體系，并配有各種先進(jìn)設(shè)施。該研究院的雄厚實(shí)力反映在其水平優(yōu)異、數(shù)量充足的教職員工隊(duì)伍上： 30 位教授、4 位教授級(jí)高級(jí)工程師、22 位副教授、10位高級(jí)工程師、10位講師和工程師。他們中有很多人是公認(rèn)的微電子學(xué)專家，包括舉世聞名的科學(xué)家王陽(yáng)元教授，他還是中國(guó)科學(xué)院院士。該院還有三間配有先進(jìn)設(shè)備的國(guó)家級(jí)或部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，這些先進(jìn)設(shè)備與世界上其他著名大學(xué)的設(shè)備不相上下。該院每年招收本科生約70 人，碩士生和博士生50 余人。

北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院集成微納系統(tǒng)（MEMS）中心成立于1996 年，是微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的一部分。其包含對(duì)硅基微納加工技術(shù)、微納傳感器與執(zhí)行器和微納系統(tǒng)集成技術(shù)的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究。近五年來(lái)，在頂級(jí)會(huì)議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM）上發(fā)表了100余篇高質(zhì)量研究論文。該中心還致力于促進(jìn)其研究成果的產(chǎn)業(yè)化。例如，First MEMS 有限公司通過(guò)應(yīng)用該中心的MEMS技術(shù)批量生產(chǎn)了壓力傳感器，由此為中國(guó)大陸帶來(lái)了創(chuàng)新。有關(guān)更多詳細(xì)信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.ime.pku.edu.cn。