--因開發并應用LSI光罩直寫設備而獲此嘉獎--

東芝公司(Toshiba Corporation) (TOKYO:6502)和NuFlare Technology, Inc. (NFT) (JASDAQ:6256)因共同開發并實際應用電子束(EB)光罩直寫設備(mask writer)榮獲第59屆大河內紀念生產獎(The 59th Okochi Memorial Grand Production Prize)，頒獎典禮將于3月22日在東京舉行。

大規模集成電路(LSI)使用平版印刷工具制造，用于將主電路圖案投射到晶圓上并進行收縮。主電路圖案較初通過電子束光罩直寫設備寫入光罩上。此前，大部分電子束光罩直寫設備都使用點波束來寫入圖案，但需要通過縮放LSI使其變小。這就增加了光罩的寫入時間，成為提高光罩制作效率的主要難題。

東芝和NFT合力開發出一種實用的電子束光罩直寫設備，其寫入精度和效率均有所提高。該電子束光罩直寫設備利用了可變形狀束(VSB)光罩寫入方法，可將電子束塑造成所需形狀填充到圖案中。

兩家公司研制了一種新穎的公式與計算系統，能夠更快、更精準地校正近距離效果，避免了出現來自光罩基底的散射電子改變電子束曝光，從而降低光罩圖樣精確度的現象。此前的技術需要數天時間進行計算，從而將目標計算誤差控制在0.5%以內。新公式將計算時間縮短到1小時內，從而能夠將實時計算與圖案寫入（電子束掃描和工具階段性運動）進行調整。

高亮度電子源的開發與應用縮短了光罩寫入時間。這一點是通過改善電子源材料和操作條件來提升亮度（一定時間內放出的電子數量）而實現的。這較終將電子束曝光到光罩上所需的時間縮短了95%，進而大幅縮短寫入時間。

雙方公司將繼續推進創新技術，以期滿足對精度和效率更高的光罩直寫設備高漲的需求。

關于東芝

東芝是一家全球領先的多元化制造商、解決方案提供商以及先進電子電器產品營銷商。東芝集團的創新和成像業務非常廣泛，包括：數碼產品，包括LCD電視、筆記本電腦、零售解決方案和多功能一體機(MFP)；電子產品，包括半導體、存儲產品和材料；工業和社會基礎設施系統，包括發電系統、智能社區解決方案、醫療系統以及扶手電梯和升降機；以及家用電器。

東芝成立于1875年，如今運營有一個由550多家各級公司組成的全球網絡，在全球擁有202,000名員工，年銷售額逾6.1萬億日元（約合740億美元）。請訪問東芝網站：www.toshiba.co.jp/index.htm