美國盧比肯技術公司選用Zeta-300系列儀器來監控其具有世界一流水平的藍寶石襯底生產線

美國澤塔儀器公司(ZETA INSTRUMENTS，INC.)是一家業內領先的微細表面形貌測量儀器制造商。該公司今天宣布美國盧比肯技術公司（納斯達克股票代碼：RBCN）已訂購多臺Zeta-300™ 系列光學輪廓儀用來監控其藍寶石襯底生產線。盧比肯藍寶石襯底的用途之一是被用作生產高亮度發光二極管（HBLED）的基片。

作為發光二極管、半導體以及光學工業所需的藍寶石襯底的主要供應商，盧比肯的產品質量在業界被視為黃金標準。藍寶石基片上的缺陷可能導致后續發光二極管晶圓的報廢，從而對晶圓廠商生產成本造成很不利的影響。基于對此的充分認識，盧比肯購買了多臺Zeta-300™ 系列光學輪廓儀用來檢測藍寶石基片上可能出現的缺陷，以及精確測量圖案化藍寶石基片上PSS的幾何尺寸，以此來幫助發光二極管晶圓廠商提高成品率、降低生產成本。

以較優性價比享譽業界的澤塔儀器操作簡易、測量精度高，已經被眾多與發光二極管生產有關的企業所采用。作為澤塔較新的光學廓線儀，Zeta-300™ 系列是專門針對圖案化藍寶石基片（PSS）極其嚴格的測量要求而設計的。它不但可以精密測量PSS的幾何尺寸，而且可以檢測PSS樣品上存在的缺陷。這種合二為一的獨特設計和功能在PSS測量領域屬于首創。

“根據生產線的要求，我們對多家廠商的測量儀器進行了評估。我們得出的結論是Zeta-300™ 系列所提供的測量速度和準確性均優于其它同類產品，” 盧比肯技術公司的總裁Raja M. Parvez先生說道：“使用澤塔的儀器可以確保我們的產品能夠滿足并超越我們自己內部的和我們客戶要求的質量標準。”

利用澤塔的Z-點陣™ 專利技術，Zeta-300系列能夠對刻蝕的PSS、顯形光阻（PR）以及透明的多層結構進行量測，其測量結果準確度高、重復性好。澤塔的儀器在業界被公認為具有較佳的光學硬件和計算機軟件算法組合，可以快速可靠地對數據進行采集和分析。與同類產品相比，澤塔的儀器在對發光二極管產業中的PSS做量測時，所提供的數據準確性較高、再現性較好。

Zeta-380配備有晶圓自動裝卸機械手和特定的應用程序軟件，它所提供的成像和測量功能優于激光共聚焦顯微鏡。客戶用Zeta-380可檢測到的一些關鍵缺陷在其它同類檢測儀器上可能不會被發現。直觀和創新的系統設計既簡化了澤塔儀器的操作和使用，又降低了系統的總體擁有成本。

澤塔儀器公司總裁Rusmin Kudinar先生說，“Zeta-300系列產品能夠被世界上較大和較受人推崇的PSS晶圓供應商之一所選中，并被其作為生產過程中的一個組成部分，這是對我們的產品戰略和研發成果的充分肯定。我們期待著跟盧比肯這樣一個值得信賴的伙伴進行持續的合作，使其在不斷推進藍寶石襯底生產技術的征途上闊步前進。”

如需獲取更多的關于Zeta-300系列的信息，請訪問http://www.zeta-inst.com/contact。

關于盧比肯技術公司（Rubicon Technology, Inc.）

盧比肯科技公司是先進的電子材料供應商，從事單晶藍寶石和其它晶體材料的開發、生產和銷售。盧比肯的產品被廣泛應用于發光二極管（LED）、射頻集成電路（RFIC）、藍色激光二極管、光電子和其它光學應用領域。該公司采用其專有的晶體生長技術，生產非常高品質的藍寶石。這種具有特有形態的藍寶石可以用來大量生產各種尺寸和晶向的襯底和窗口。盧比肯是一個全方位的制造企業，制造能力包括晶體生長、高精度取芯鉆切、晶圓切片、表面研磨、大直徑拋光和晶圓清洗。這些制造能力使得盧比肯可以將大塊晶體轉化為滿足不同顧客質量和精度要求的各類產品。該公司在大直徑產品領域居世界領先地位。這類大直徑產品可以用來生產下一代的發光二極管，射頻集成電路和光學窗口。

關于澤塔儀器

澤塔儀器公司是業內領先的光學輪廓儀供應商。澤塔的測量系統幫助綠色環保技術和生物醫藥產品制造商大幅提高產量和增強質量控制。其解決方案被廣泛應用于微流體/生物技術、高亮度LED、太陽能電池、磁存儲介質的開發和生產。澤塔是一家總部位于美國加利福尼亞州圣何塞市的私人控股公司。欲了解更多有關澤塔儀器及其產品，請訪問www.zeta-inst.com。

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