日本廠商紛紛開發可提高有機EL面板特性的氧化物TFT
用于液晶面板、有機EL面板以及電子紙等顯示面板驅動用途的氧化物半導體TFT的研發越來越活躍。其中,作為驅動有機EL面板的TFT的有力候補,氧化物TFT更是備受關注。與原來采用非晶硅的TFT相比,氧化物半導體TFT的載流子遷移率高達10cm22/Vs,是前者的10倍左右,這樣便容易提高有機EL面板的亮度。另外,氧化物TFT的特性不均現象較小,并且電流的時變也較少。可輕松控制有機EL面板的顯示不均現象,適用于大面積化用途。此外,由于可采用濺鍍法制作,導入時無需大幅改進現有液晶面板的生產線。
鑒于這些優點,韓國LG顯示器、韓國三星電子、臺灣友達光電(AU ptronics)等韓國及臺灣的大型面板廠商紛紛開始致力于氧化物TFT的開發,日本廠商較近也開始加大開發力度。
夏普在2009年12月舉辦的顯示器技術國際學會“16th InternationalDisplay Workshops(IDW ’09)”上公開了采用氧化物TFT的2.6英寸QVGA(320×240像素)液晶面板。氧化物半導體采用IGZO(In-Ga-Zn-O)。
凸版印刷則致力于采用可進行涂布的氧化物半導體的TFT的開發。通過采用涂布工藝,有望削減制造成本。該公司試制出了制造工序中較高溫度可降至270℃的氧化物TFT。與原來利用涂布工藝制造氧化物TFT相比,“較高溫度要低100℃以上”(該公司)。凸版印刷的TFT是在玻璃底板上制成的,采用旋壓覆蓋(Spin Coat)法對氧化物半導體進行涂布成膜。以柵極絕緣膜為代表,源極等各電極均采用原來的制造工序。
雖然還比不上濺鍍產品,但涂布成膜的試制品的遷移率為0.5cm2/Vs以上,導通/截止比為105以上,實現了與普通非晶硅TFT相當的特性。其特點是有望用于驅動電子紙及液晶面板。事實上,凸版印刷已利用該試制品,成功驅動了美國電子墨水(E Ink)制造的2英寸電子紙。
相關閱讀:
- ...· Efinix® 全力驅動AI邊緣計算,成功推出Trion™ T20 FPGA樣品, 同時將產品擴展到二十萬邏輯單元的T200 FPGA
- ...· 英飛凌亮相進博會,引領智慧新生活
- ...· 三電產品開發及測試研討會北汽新能源專場成功舉行
- ...· Manz亞智科技跨入半導體領域 為面板級扇出型封裝提供化學濕制程、涂布及激光應用等生產設備解決方案
- ...· 中電瑞華BITRODE動力電池測試系統順利交付北汽新能源
- ...· 中電瑞華FTF系列電池測試系統中標北京新能源汽車股份有限公司
- ...· 中電瑞華大功率高壓能源反饋式負載系統成功交付中電熊貓
- ...· 中電瑞華國際在電動汽車及關鍵部件測評研討會上演繹先進測評技術