IMT與北京大學微納電子學研究院深入合作推動MEMS工藝技術持續發展

美國加利福尼亞州圣巴巴拉市及中國北京，2016年12月8日—美國較大的MEMS技術和制造服務提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學微納電子學研究院的三位學生頒發了2016年度MEMS專項獎學金，以獎勵他們在MEMS工藝技術開發領域的杰出成就。這次頒獎也標志著IMT與北京大學微納電子學研究院開展戰略合作已滿一周年。該獎學金已為MEMS器件制造工藝技術及相關領域內的基礎研究提供了支持，接下來將繼續推動MEMS技術的創新，并將在全球范圍內為人才培養提供幫助。

在對所有申請獎學金的候選人進行大量評估和答辯后，北京大學微納電子學研究院將獎學金授予了三位學生。2016年度獎學金的獲得者是程曉亮、毛逸飛和張立。這三位IMT獎學金獲得者的研究方向分別為使用碳氟等離子體的無掩膜皺紋結構的可控制造，聚焦離子束應力引入技術，以及SOG（Silicon On Glass）工藝質量監控和工藝相關參數提取。他們的研究成果在MEMS工藝技術方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應用中具有發展潛力和前景。

MEMS已經成為了一項關鍵的技術，被用來應對物聯網、智能化和生物技術領域內快速發展的技術和應用。MEMS技術持續演進，推動了器件制造工藝、新材料及封裝等方面的創新，以滿足未來的需求。在當今的電子系統中，MEMS已經作為一種整合技術出現在諸多不同的應用中，例如無人駕駛設備、智能電話、可穿戴電子產品、細胞計數器和機器人等等應用，新型的MEMS器件正在被快速地開發并推出。MEMS技術的拓展及其發展前景不但激勵著IMT和北京大學微納電子學研究院等領先的制造與研究機構去自發地推動MEMS技術的先進研究和開發，同時也促動他們與行業中志同道合的伙伴積極開展合作。

2015年，IMT與北京大學微納電子學研究院簽署戰略合作伙伴協議，旨在通過攜手合作加快MEMS技術在中國和美國的發展。作為該協議的一部分，IMT在MEMS研究和開發領域設立了專項獎學金，每年向北京大學的三名（個）學生個人或團隊提供獎學金。該獎學金鼓勵創新，并有助于在通信、人類健康、農業優化和可再生能源等眾多領域中展現出MEMS制造的優勢。該獎學金計劃是首項在中國專門針對MEMS制造工藝技術開發而設立的獎學金。

“很高興能夠代表IMT再一次為北京大學微納電子學研究院的優秀學生頒發我們的年度專項獎學金，今年同學們提交的所有論文都以極高的質量和創新給我們留下了深刻的印象，也反映了該院在MEMS技術領域內又取得了許多技術進步和突破，”IMT 首席執行官Craig Ensley先生表示。“自2015年IMT與北京大學微納電子學研究院形成戰略關系以來，雙方在開發新的MEMS制造工藝及技術方面展開了合作并已經從中獲益。這將為IMT利用自己全球領先的 MEMS 器件加工技術服務中國MEMS產業帶來新的機會。兩個組織擁有一個共同的目標，即通過基于MEMS的技術來實現物聯網及其他新興技術的快速發展。”

“在過去的兩年中，IMT-北京大學微納電子學研究院MEMS專項獎學金計劃已經獎勵了5位學生和1個學生團隊。同學們的研究為MEMS工藝技術開發和制造帶來了真實的貢獻。該獎學金為其他青年才俊開啟了一扇大門，有助于擴展他們的視野，并使他們致力于創新以邁向新一代MEMS技術。”北京大學微納電子學研究院李志宏教授表示，“我們與IMT之間的合作伙伴關系，以及其他類似的行業合作，對于持續創新而言都是至關重要的。”

關于IMT（Innovative Micro Technology）

IMT是全球領先的MEMS技術和晶圓制造服務商，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年，專門生產微機電系統（MEMS）器件。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產廠，其中有一間30,000平方英尺、等級為100的無塵室/晶圓廠，是世界上較大、配置較精良的MEMS晶圓廠之一。IMT提供MEMS量產，以及從設計到生產過程的制造服務。IMT服務的企業分布在各個應用領域，包括繼電器、醫療診斷、給藥、生物醫學、微流體、顯示屏、慣性導航、光學通信、印刷、夜視儀、紅外發射器、電話/DSL切換、射頻器件、電源管理、各類傳感器及相關領域。IMT將始終與各公司密切合作，共同研發和制造基于MEMS技術的新型產品。更多信息，請訪問www.imtmems.com。

關于北京大學微納電子學研究院

北京大學微納電子學研究院（IME/Peking University）是中國頂級的微電子/納米電子科技研究和教育基地。其特點是擁有一套完整的教學、培訓和研究體系，并配有各種先進設施。該研究院的雄厚實力反映在其水平優異、數量充足的教職員工隊伍上： 30 位教授、4 位教授級高級工程師、22 位副教授、10位高級工程師、10位講師和工程師。他們中有很多人是公認的微電子學專家，包括舉世聞名的科學家王陽元教授，他還是中國科學院院士。該院還有三間配有先進設備的國家級或部級重點實驗室，這些先進設備與世界上其他著名大學的設備不相上下。該院每年招收本科生約70 人，碩士生和博士生50 余人。

北京大學微納電子學研究院集成微納系統（MEMS）中心成立于1996 年，是微米/納米加工技術國家級重點實驗室的一部分。其包含對硅基微納加工技術、微納傳感器與執行器和微納系統集成技術的基礎研究和應用研究。近五年來，在頂級會議和期刊（如 IEEE MEMS、Transducers、MicroTAS、Small、Lab Chip、JMEMS 和 JMM）上發表了100余篇高質量研究論文。該中心還致力于促進其研究成果的產業化。例如，First MEMS 有限公司通過應用該中心的MEMS技術批量生產了壓力傳感器，由此為中國大陸帶來了創新。有關更多詳細信息，請訪問www.ime.pku.edu.cn。