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摘　　　要：通過對(duì)熱驅(qū)動(dòng)部件的理論分析，確定參數(shù)待定的熱驅(qū)動(dòng)部件數(shù)學(xué)模型。針對(duì)現(xiàn)有數(shù)學(xué)模型中多階指數(shù)函數(shù)擬合算法的復(fù)雜性，提出一種基于函數(shù)鏈神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)（ＦＬＡＮＮ）的多階指數(shù)函數(shù)逐級(jí)遞推式擬合算法。根據(jù)不同時(shí)間常數(shù)的指數(shù)函數(shù)具有不同平衡時(shí)間的特點(diǎn)，采用基于ＦＬＡＮＮ一階指數(shù)函數(shù)擬合算法，逐步確定多階指數(shù)函數(shù)對(duì)應(yīng)項(xiàng)的待定參數(shù)，建立熱驅(qū)動(dòng)部件的數(shù)學(xué)模型。應(yīng)用多模控制和模糊切換策略，對(duì)具有大進(jìn)給力的納米級(jí)驅(qū)動(dòng)部件進(jìn)行控制，試驗(yàn)表明系統(tǒng)具有快速響應(yīng)和高精度，并實(shí)現(xiàn)了...