摘　　　要：通過對熱驅動部件的理論分析，確定參數待定的熱驅動部件數學模型。針對現有數學模型中多階指數函數擬合算法的復雜性，提出一種基于函數鏈神經網絡（ＦＬＡＮＮ）的多階指數函數逐級遞推式擬合算法。根據不同時間常數的指數函數具有不同平衡時間的特點，采用基于ＦＬＡＮＮ一階指數函數擬合算法，逐步確定多階指數函數對應項的待定參數，建立熱驅動部件的數學模型。應用多模控制和模糊切換策略，對具有大進給力的納米級驅動部件進行控制，試驗表明系統具有快速響應和高精度，并實現了...