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摘　　　要：通過對熱驅動部件的理論分析，確定參數(shù)待定的熱驅動部件數(shù)學模型。針對現(xiàn)有數(shù)學模型中多階指數(shù)函數(shù)擬合算法的復雜性，提出一種基于函數(shù)鏈神經(jīng)網(wǎng)絡（ＦＬＡＮＮ）的多階指數(shù)函數(shù)逐級遞推式擬合算法。根據(jù)不同時間常數(shù)的指數(shù)函數(shù)具有不同平衡時間的特點，采用基于ＦＬＡＮＮ一階指數(shù)函數(shù)擬合算法，逐步確定多階指數(shù)函數(shù)對應項的待定參數(shù)，建立熱驅動部件的數(shù)學模型。應用多模控制和模糊切換策略，對具有大進給力的納米級驅動部件進行控制，試驗表明系統(tǒng)具有快速響應和高精度，并實現(xiàn)了...