摘　　　要：針對在納米級運動控制中，傳統ＰＩＤ算法的參數配置在抑制系統運動超調、提高系統定位精度，以及保障系統穩定性等方面存在矛盾的問題，提出了將模糊自適應ＰＩＤ控制器應用于該系統的方案。并基于大量工程整定實驗，給出了針對納米量級控制特點的模糊集設置和模糊整定規則，選取了合理的ＰＩＤ參數論域取值。實驗結果表明，所設計的模糊控制器通過動態調整ＰＩＤ參數的增量，有效改善了微動臺系統的動態性能，降低了動態響應的超調，且保證了在一定擾動下系統小于±１０ｎｍ的定位精...